俄罗斯国立研究型技术大学与俄罗斯科学院微电子技术问题研究所的科研人员,通过沉积石墨烯涂层技术开发出一种独特的硅纳米复合材料。研究人员认为,这一研发成果将加速直接放置在电子产品印刷电路板上的“微电厂”技术的发展。
研究人员称,为了沉积涂层,使用了乙醇化学气相沉淀法,其特点在于在工作腔中使用了“急剧压降”模式,即使在纳米孔闭合层也能确保石墨烯的沉积。
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