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六英寸氧化镓单晶

发布日期:2023/3/10 15:56:45      来源:      作者:
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      日前,中国电科46所成功制备出我国首颗6英寸氧化镓单晶,达到国际最高水平。
      据了解,中国电科46所氧化镓团队聚焦多晶面、大尺寸、高掺杂、低缺陷等方向,从大尺寸氧化镓热场设计出发,成功构建了适用于6英寸氧化镓单晶生长的热场结构,突破了6英寸氧化镓单晶生长技术,具有良好的结晶性能,可用于6英寸氧化镓单晶衬底片的研制,将有力支撑我国氧化镓材料实用化进程和相关产业发展。

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